據臺灣媒體7月30日報道稱，臺積電的南科18a廠，29日夜間傳出生產工序出現問題，一部分生產線已經停止運行，30日早上，供貨商被擋于園區外，無法進入園區。

而有供應商透露，此次問題的原因是氧氣供應受到污染，有有關人員認為，半導體材料生產工序大約有270道工序需用到氧氣，基本上全是關鍵工序；更何況18a廠解決的全是現階段臺積電最先進的5納米核心工序，此時產生氧氣環境污染，也許是直中臺積電重要，但預估臺積電會全力以赴清除有關難題，盡早讓生產線修復。

但接著臺積電就這事做出回復，表明絕無此事，僅僅有一部分來自生產商供應的汽體疑是受到了污染，已及時調用別的汽體進行供應，對生產線未導致顯著危害，產線仍處于正常生產。